1. Bahan dan Peralatan
Bahan inti: Cerium oksidabubuk dengan kemurnian lebih besar dari atau sama dengan 99%, ukuran partikel 1-5μm (ukuran partikel kasar 3-5μm untuk pemolesan kasar, ukuran partikel halus 1-2μm untuk pemolesan halus)
Bahan bantu:Air deionisasi, ph adjuster (NaOH/asam sitrat)
Alat dan Peralatan: Mesin pemolesan (manual atau listrik), bantalan pemoles poliuretan/wol, pengaduk, kertas uji pH, cangkir pengukur
2. Prosedur operasi standar
1. Prabaku
Pembersihan kaca: Degreasing dengan etanol/aseton, pembersihan ultrasonik untuk menghilangkan mikron - partikel berukuran
Persiapan cairan pemolesan: aduk ke dalam suspensi yang seragam sesuai dengan rasio cerium oksida: air=1: 5-10, sesuaikan pH ke 9-11 (lingkungan alkali mempercepat reaksi kimia)
2. Operasi pemolesan
Peralatan Debugging: Perbaiki bantalan pemolesan basah, atur kecepatan, 100-300rpm untuk kaca biasa, 50-100rpm untuk kaca optik
Pemuatan Bahan dan Pemolesan: Semprot Bubur, Terapkan tekanan 0,1-0,5MPA, gunakan lintasan berbentuk 8, dan mengisi kembali bahan setiap 2-5 menit
Pemantauan Proses: Amati kekasaran dengan mikroskop (target RA<1μm), and detect the surface error with interferometer (PV<λ>
3. Posting - pemrosesan
Pembersihan: Bilas dengan air deionisasi → Bersihkan dengan alkohol isopropil → kering dengan udara panas di bawah 60 derajat
Inspeksi Kualitas: Uji Transmitansi Cahaya (kaca normal lebih besar dari atau sama dengan 90%), inspeksi cahaya UV untuk cacat permukaan
3. Masalah umum
Fogging Permukaan: Bubur terlalu pekat / pemolesan terlalu berlebihan, encerkan bubur dan mempersingkat waktu pemolesan yang bagus
Goresan pendalaman: kotoran pada bantalan pemoles / tekanan yang tidak rata, ganti pad pemolesan dan mengkalibrasi sistem tekanan
Efisiensi Rendah: PH penyimpangan / suhu terlalu rendah, sesuaikan pH ke 10 dan panaskan bubur hingga 25 derajat